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Massenspektrometer - Das Vakuumsystem

Messung des Vakuums

Zur Kontrolle des Vakuumsystems ist eine Überprüfung des Druckes in verschiedenen Bereichen des Massenspektrometers unabdingbar. Das Vakuumsystem enthält deshalb mindestens ein Vorvakuum- und ein Hochvakuum-Messgerät. Es gibt jeweils verschiedene technische Möglichkeiten, die im Folgenden miteinander verglichen werden.

Messung des Vorvakuums

Tab.1
Messung des Vorvakuums
Wärmeleitungs-VakuummeterThermo-Gauge-Messkopf
Messbereich10 mbar ... 10-3  mbarmbar... 10-3  mbar
Genauigkeit± 5 %± 10 %
Ansprechzeit kurzhöher
Vor-/Nachteileverschmutzungsempfindlichrobust, geringer Stromverbrauch

Messung des Hochvakuums

Tab.2
Messung des Hochvakuums
Kaltkathoden-VakuummeterGlühkathoden-Vakuummeter
Messbereich 10-2  mbar... 10-7  mbar 10-3  mbar... 10-9  mbar
Genauigkeit± 50 %± 10 ... 20  %
Vor-/Nachteilerobust, preiswert, Gasverbrauch erheblichempfindlich gegen hohen Druck, schnelles Verschmutzen
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