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Massenspektrometer - Das Einlass-System

Indirekter Probeneinlass für Gase

Der indirekte Probeneinlass wird auch für den Eintrag von Gasen verwendet. Dazu wird ein Gascontainer über einen Hochvakuum-Flansch direkt an die Ionenquelle gekoppelt. Mit Hilfe eines Nadelventils kann das Gas dosiert werden.

Abb.1

Für den Einsatz von Massenspektrometern in der Prozesskontrolle können auch Gasleitungen oder Reaktionsgefäße über eine Membran oder Kapillare mit der Ionenquelle verbunden werden. Auf diesem Weg ist beispielsweise auch die kontinuierliche Überwachung der Konzentration eines bei einer Synthese entstehenden Gases möglich.

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