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Fertigung eines Mikrofluidik- Bauteils zur Lebendzellzahlbestimmung mittels Reinraumtechnik

ChemieTechnische ChemieChemische Messtechnik

Ziel dieser Arbeit war die Herstellung einer mikrofluiden Zellzählkammer. Die Grundlage bildete ein mit Chrom beschichteter Silicium-Wafer. Das Chrom wurde mittels Ammoniumcernitrat selektiv geätzt und diente im Weiteren als Ätzmaske. Durch anisotrophes Ätzen erfolgte die Strukturierung des Silicium-Wafer. Mit Hilfe des gefertigten Abformrohling sollte die Kanalstruktur im Anschluss über einen Kaltabformung in einen Kunststoff übertragen werde. Verkappt und an eine Mikropumpe angeschlossen war es möglich, verschiedene Zellen durch das System fließen zu lassen und ihr Fließverhalten mittels eines Mikroskops zu analysieren.

Autor

  • Jan Kowolik
  • Kai-Henning Lietzau
  • Andrea Böhme
  • Prof. Dr. Franz Xaver Wildenauer
  • Prof. Dr. Andreas Foitzik
  • Ann Seidel

Lernziel

  • Herstellung einer mikrofluiden Zellzählkammer

Wichtige Schlüsselworte in dieser Lerneinheit

Zelle