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Fertigung eines Mikrofluidik- Bauteils zur Lebendzellzahlbestimmung mittels Reinraumtechnik

Aufgabenstellung

Aufgabe ist es, eine Zellzählkammer ähnlich der so genannten Neubauer-Zelle mittels Reinraumtechnik herzustellen. Diese Zellzählkammer soll identische Ergebnisse wie die Neubauer-Zelle liefern. Prägend für dieses Bauteil sind günstigere Herstellungskosten, sowie eine leichtere und automatisierte Bedienung unter einem Lichtmikroskop.

Abb.1
Siliciumwafer

Strukturierter Abformstempel auf einem Siliciumwafer

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