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Entwicklung eines miniaturisierten Druckreglers für Gase

Fazit

Die bisherigen Untersuchungen zeigen, dass es möglich ist, miniaturisierte Druckregler unter Verwendung von Mikroventilen aufzubauen. Die Mikroventile werden dabei mit Pulsweitenmodulation angesteuert. Bei konsequenter Verwendung von Mikrobauelementen entstehen Systeme, deren Spezifikationen den Einsatz in verschiedensten Anwendungen zulassen und dabei gegenüber den kommerziell verfügbaren Systemen eine deutlich verringerte Baugröße und Leistungsaufnahme aufweisen. Leider macht derzeit die Beschaffung der notwendigen Mikrokomponenten, insbesondere der Mikroventile, noch große Schwierigkeiten, da meist nur Prototypen oder erste Serienteile erhältlich sind, die nicht immer die erforderliche Zuverlässigkeit aufweisen. Auf der anderen Seite bedeutet der frühe Einstieg in die Anwendung neuer Ventiltechnologien einen bedeutenden Entwicklungsvorsprung.

Literatur

Colin, R.; Osterwinter, H.; Strobelt, . (April 2003): Zentrum für Mikrotechnik und Systemintegration. Nr. 17Spektrum
Strobelt, T.; Stumm, F. (2004): Entwicklung eines miniaturisierten Druck- und Durchflussreglers für Gase. 10.GMM-Workshop BTUISSN: 0947-1413, S. 349 – 352
Strobelt, T. (23.Juni 2005): Mass-Flow-Controller, Anwendungsforum Mikro-System-Technik.
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