zum Directory-modus

Optische Detektionsverfahren in der Sensorik

Optische markierungsfreie Verfahren

Tab.1
Messung der Änderung des Brechungsindexes über Evaneszentfeld
TransducerMessprinzip
Oberflächenplasmonenresonanz (SPR)Verschiebung der Resonanzenergie eines Oberflächenplasmons
Prismenkoppler (Resonant Mirror, RM)Änderung der Kopplungsbedingungen eines isolierten Schichtwellenleiters
GitterkopplerVerschiebung des Kopplungswinkels eines optischen Gitters
Integriert optische Interferometer: Mach-Zehnder-Interferometer Young-Interferometer Moden-Interferometer Detektion der Phasenverschiebung über Interferenz
Tab.2
Messung der Änderung der optischen Schichtdicke
TransducerMessprinzip
Reflektometrische Interferenzspektroskopie (RIfS)Änderung des Interferenzmusters einer dünnen Schicht
EllipsometrieÄnderung der Polarisierbarkeit der Reflektivität
<Seite 1 von 20