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Elektrochemische und elektronische Detektionsverfahren in der Sensorik

SAW-Sensoren auf Basis von Interdigitalstrukturen

Oberflächenwellen können auch durch Interdigitaltransducer (IDT) erzeugt werden (1965, White und Volltmer).

IDTs sind kammartig ineinandergreifende Elektroden. Wird an einen IDT eine Wechselspannung der Frequenz f angelegt, so wird ein elektrisches Feld mit der räumlichen Periode 2 p und der zeitlichen Periode f 1 erzeugt. Über den piezoelektrischen Effekt wird eine mechanische Welle mit den gleichen Perioden erzeugt. Diese Welle breitet sich vom IDT in beide Richtungen aus. Die Resonanzfrequenz des IDTs ist nun jene, bei der es zur konstruktiven Interferenz kommt. Der doppelte Fingerabstand ist dann gleich der akustischen Wellenlänge oder ihren ungeraden Vielfachen. Bei dieser Frequenz ist die Umwandlung der elektrischen in eine mechanische Welle am effizientesten.

Es können Interdigitalstrukturen mit einem Abstand von 1µm hergestellt werden. Daraus ergibt sich eine Grundfrequenz von 2 G Hz .

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