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Elektrochemische und elektronische Detektionsverfahren in der Sensorik

Dickschichtsensoren

Änderungen der Gleich- bzw. Wechselstromleitfähigkeit sind beim Dickschichtsensor direkt von der Wechselwirkung des Gases mit der Halbleiteroberfläche abhängig.

Abb.1

Durch Elektronentransfer zwischen dem adsorbierten Gas und dem Halbleiter entstehen zusätzliche Energiezustände in der Bandlücke. Die Leitfähigkeit ändert sich. Die dicke Schicht kann auf Interdigitalstrukturen aufgedampft werden oder man verwendet Presslinge.

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