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Messung der Beschleunigung

Kapazitive Beschleunigungssensoren

Es gibt auch kapazitive Beschleunigungssensoren, bei denen die Änderung der Kapazität eines Kondensators die entsprechende Beschleunigung detektiert. Ein solcher Sensor besteht aus einer beweglichen seismischen Masse, die eine Elektrode eines Kondensators darstellt. Wird diese seismische Masse symmetrisch zwischen zwei Kondensatorplatten angebracht, so kann man nach dem Differenzialkondensatorprinzip arbeiten.

Abb.1
Differenzialkondensator mit beweglicher Mittelelektrode

In der Mikromechanik besteht ein solcher Sensor aus drei übereinander gelagerten Schichten. Die seismische Masse ist hierbei über einen oder mehrere dünne Siliziumstege zur mittleren Ebene verbunden. Bei Beschleunigung ändern sich die beiden Kapazitäten C1 (zur oberen Elektrode) und C2 (zur unteren Elektrode) gegenläufig.

Abb.2
Aufbau eines kapazitiven Si-Beschleunigungssensors in Mikromechanik-Technik
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