Optische Detektionsverfahren in der Sensorik
Optische markierungsfreie Verfahren
- Tab.1
- Messung der Änderung des Brechungsindexes über Evaneszentfeld
Transducer | Messprinzip |
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Oberflächenplasmonenresonanz (SPR) | Verschiebung der Resonanzenergie eines Oberflächenplasmons |
Prismenkoppler (Resonant Mirror, RM) | Änderung der Kopplungsbedingungen eines isolierten Schichtwellenleiters |
Gitterkoppler | Verschiebung des Kopplungswinkels eines optischen Gitters |
Integriert optische Interferometer: Mach-Zehnder-Interferometer
Young-Interferometer
Moden-Interferometer
| Detektion der Phasenverschiebung über Interferenz |
- Tab.2
- Messung der Änderung der optischen Schichtdicke
Transducer | Messprinzip |
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Reflektometrische Interferenzspektroskopie (RIfS) | Änderung des Interferenzmusters einer dünnen Schicht |
Ellipsometrie | Änderung der Polarisierbarkeit der Reflektivität |