Optische Detektionsverfahren in der Sensorik
Optische markierungsfreie Verfahren
- Tab.1
- Messung der Änderung des Brechungsindexes über Evaneszentfeld
| Transducer | Messprinzip |
|---|
| Oberflächenplasmonenresonanz (SPR) | Verschiebung der Resonanzenergie eines Oberflächenplasmons |
| Prismenkoppler (Resonant Mirror, RM) | Änderung der Kopplungsbedingungen eines isolierten Schichtwellenleiters |
| Gitterkoppler | Verschiebung des Kopplungswinkels eines optischen Gitters |
| Integriert optische Interferometer: Mach-Zehnder-Interferometer
Young-Interferometer
Moden-Interferometer
| Detektion der Phasenverschiebung über Interferenz |
- Tab.2
- Messung der Änderung der optischen Schichtdicke
| Transducer | Messprinzip |
|---|
| Reflektometrische Interferenzspektroskopie (RIfS) | Änderung des Interferenzmusters einer dünnen Schicht |
| Ellipsometrie | Änderung der Polarisierbarkeit der Reflektivität |
