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SputternZoomA-Z

Unter Sputtern versteht man das Zerstäuben von Oberflächen durch Beschuss eines Targets mit energiereichen Edelgasionen. Dieser Prozess kann sowohl zur Reinigung von Oberflächen als auch zur Auftragung dünner Schichten eingesetzt werden. Im letztern Fall besteht das Target aus dem gewünschten Beschichtungsmaterial. Als Ionenquelle dient meist ein Edelgasplasma, das durch ein Gleich- oder Wechselstromfeld angeregt wird.